您的位置： 专家智库 > >

孙艳

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 7个电子电信
  • 4个机械工程
  • 4个理学
  • 2个生物学
  • 2个天文地球
  • 2个金属学及工艺
  • 2个自动化与计算...
  • 2个交通运输工程
  • 2个核科学技术
  • 2个医药卫生
  • 2个农业科学
  • 1个电气工程
  • 1个环境科学与工...
  • 1个一般工业技术
  • 1个文化科学
  • 1个历史地理

主题

  • 7个等离子体
  • 7个等离子体刻蚀
  • 7个硬X射线
  • 7个深反应离子刻...
  • 7个离子刻蚀
  • 7个刻蚀
  • 7个反应离子
  • 7个反应离子刻蚀
  • 7个感应耦合
  • 7个感应耦合等离...
  • 7个感应耦合等离...
  • 7个高宽比
  • 7个大高宽比
  • 7个HSQ
  • 3个电子束光刻
  • 3个对比度
  • 2个带通
  • 2个带通滤波
  • 2个单色光
  • 2个氮化

机构

  • 5个复旦大学
  • 2个中国科学院上...
  • 1个中国科学院
  • 1个中国科学院上...
  • 1个中国科学院大...

资助

  • 7个国家自然科学...
  • 2个国家科技支撑...
  • 2个国家重点基础...
  • 2个上海市科学技...
  • 2个上海市自然科...
  • 2个中国博士后科...
  • 2个中央级公益性...
  • 2个国际竹藤网络...
  • 2个国家林业公益...
  • 2个上海市基础研...
  • 2个上海市科学技...
  • 2个中国科学院国...
  • 2个中国科学院知...
  • 2个中国科学院知...
  • 1个北京市自然科...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个山西省自然科...
  • 1个国家科技重大...
  • 1个国家质检总局...
  • 1个教育部“新世...

传媒

  • 7个强激光与粒子...
  • 2个生命科学
  • 2个物理学报
  • 2个高能物理与核...
  • 2个物理
  • 2个现代物理知识
  • 2个核技术
  • 2个光学学报
  • 2个光谱学与光谱...
  • 2个矿物岩石地球...
  • 2个失效分析与预...
  • 2个生物医学工程...
  • 2个中国科学：技...
  • 1个中国医学计算...
  • 1个农业工程学报
  • 1个药学学报
  • 1个金属学报
  • 1个中国中药杂志
  • 1个中国科学（A...
  • 1个复旦学报（自...

地区

  • 7个上海市
共 7 条 记 录，以下是 1-7
刘建朋
供职机构：复旦大学
研究主题：高宽比 电子束光刻 波带片 自对准 子层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖体乔
供职机构：中国科学院上海应用物理研究所
研究主题：X射线 X射线光学 成像 相衬成像 上海光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈烁
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院专用集成电路与系统国家重点实验室
研究主题：大高宽比 高宽比 感应耦合等离子体刻蚀 深反应离子刻蚀 硬X射线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李欣
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院专用集成电路与系统国家重点实验室
研究主题：大高宽比 高宽比 感应耦合等离子体刻蚀 深反应离子刻蚀 硬X射线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宜方
供职机构：复旦大学
研究主题：电子束光刻 波带片 高宽比 光刻胶 掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张思超
供职机构：复旦大学
研究主题：电子束光刻 深反应离子刻蚀 衬底 波带片 旋涂法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓彪
供职机构：中国科学院上海应用物理研究所
研究主题：X射线 毛细管 上海光源 X射线光学 X射线荧光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0