2025年3月19日
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唐绍根
作品数:
5
被引量:6
H指数:2
供职机构:
中国电子科技集团第二十四研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
邓建国
中国电子科技集团第二十四研究所
黄磊
中国电子科技集团第二十四研究所
李文
中国电子科技集团第二十四研究所
崔伟
中国电子科技集团第二十四研究所
王学毅
中国电子科技集团第二十四研究所
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邓建国
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:控制精度 盘旋 束流 质心 半导体设备
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所获资助
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黄磊
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:半导体 绝缘层 介质耐压 终端 深槽
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王学毅
供职机构:重庆中科渝芯电子有限公司
研究主题:超浅结 离子注入 磁控溅射 温度系数 电阻率
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刘登华
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:化学溶液 化学腐蚀 密封式 离子注入机 微机电系统
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徐岚
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:SPC 统计过程控制 半导体工艺 可靠性 化学溶液
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李文
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:大流量 硅外延 大功率 开关稳压电源 脉宽调制
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崔伟
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:半导体 深槽 漂移区 场效应 掺杂
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邹昭伟
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:离子注入机 SOI 刻蚀 介质隔离 深槽
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