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宋健
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中国科学院电工研究所
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中国科学院科研装备研制项目
国家重大科学仪器设备开发专项
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相关领域:
机械工程
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合作作者
牛耕
中国科学院电工研究所
赵伟霞
中国科学院电工研究所
马玉田
中国科学院电工研究所
刘俊标
中国科学院电工研究所
韩立
中国科学院电工研究所
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刘俊标
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束 电子枪 超声电机 盲文 束流
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韩立
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束 原子力显微镜 电流变液 扫描探针显微镜 电子束曝光
发表作品
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供职机构
所获资助
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马玉田
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:钨 氦离子 靶材 透射 电子束
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
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牛耕
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:磁控溅射 靶材 计算机断层成像 磁控溅射法 AL
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相关人物
供职机构
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赵伟霞
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束 靶材 电子枪 计算机断层成像 测量方法
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