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张铁军

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：中国人民解放军总参谋部更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 8个电子电信
  • 5个自动化与计算...
  • 4个理学
  • 3个航空宇航科学...
  • 2个机械工程
  • 1个化学工程
  • 1个交通运输工程
  • 1个一般工业技术
  • 1个文化科学

主题

  • 7个电磁式
  • 7个硅基
  • 7个硅基薄膜
  • 7个MEMS
  • 5个封装
  • 4个真空封装
  • 4个扩展性
  • 4个基板
  • 4个孤岛
  • 2个单晶
  • 2个单晶硅
  • 2个弹性梁
  • 2个低噪
  • 2个低噪声
  • 2个电荷
  • 2个电荷转移
  • 2个电化学腐蚀
  • 2个电极
  • 2个电路
  • 2个电路设计

机构

  • 7个中国科学院
  • 3个中国科学院大...
  • 2个中国科学院研...
  • 1个大连轻工业学...
  • 1个中国航空无线...
  • 1个中国科学院上...

资助

  • 3个国家重点基础...
  • 3个国家自然科学...
  • 2个国家高技术研...
  • 1个浙江省教育厅...
  • 1个浙江省自然科...
  • 1个宁波市自然科...
  • 1个大连市科技计...

传媒

  • 7个磁性材料及器...
  • 4个传感器与微系...
  • 3个传感技术学报
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  • 2个机械工程学报
  • 2个上海交通大学...
  • 2个航空学报
  • 2个仪表技术与传...
  • 1个工程设计学报
  • 1个传感器技术
  • 1个电子与信息学...
  • 1个中国机械工程
  • 1个光学学报
  • 1个红外与毫米波...
  • 1个无机盐工业
  • 1个小型微型计算...
  • 1个软件学报
  • 1个测控技术

地区

  • 8个上海市
共 8 条 记 录，以下是 1-8
刘文俊
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS器件 保护环 孤岛 基板 扩展性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张颖
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 微机械加工 固有频率 摄动法 统计分析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦继伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宓斌伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：MEMS 硅基薄膜 硅基 谐振器 自补偿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
秦嵩
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 硅基薄膜 硅基 电磁式 残余应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
颜培力
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS器件 保护环 孤岛 基板 扩展性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王辉
供职机构：中国航空无线电电子研究所
研究主题：形式化 安全关键软件 自动化测试 机载 航电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王敏昌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：角速度传感器 真空封装 基板 电极 致密性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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