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褚风灵

作品数：1 被引量：6H指数：1
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雷红
供职机构：上海大学
研究主题：化学机械抛光 抛光液 磨粒 抛光 组合物
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卢海参
供职机构：上海大学
研究主题：化学机械抛光 抛光液 CMP 氧化铝 波纹度
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严琼林
供职机构：上海大学
研究主题：抛光 氧化铁 化学机械抛光 划痕 CMP
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