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朱清溢
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
四川信息职业技术学院信息工程学院电子信息工程系
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
黄钦文
中国科学院微电子研究所
陈大鹏
中国科学院微电子研究所
欧毅
中国科学院微电子研究所
李志刚
中国科学院微电子研究所
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黄钦文
供职机构:信息产业部电子第五研究所
研究主题:加速度计 随动 微悬臂梁 校准 转台
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所获资助
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欧毅
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统
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所获资助
研究领域
陈大鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
李志刚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属 冗余 淀积 集成电路版图 版图设计
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