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刘楠
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8
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H指数:2
供职机构:
河北工业大学
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电子电信
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合作作者
田巧伟
河北工业大学信息工程学院微电子...
高宝红
河北工业大学信息工程学院微电子...
苏伟东
河北工业大学信息工程学院微电子...
檀柏梅
河北工业大学信息工程学院微电子...
王志强
河北工业大学
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田巧伟
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:铜布线 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 纳米SIO
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高宝红
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
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苏伟东
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:铜布线 CMP 非离子表面活性剂 化学机械抛光 BTA
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黄妍妍
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 外延层 气相 液晶屏 液晶
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王志强
供职机构:中国石油天然气集团公司
研究主题:错层位 煤柱 巷道布置 无煤柱 厚煤层
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檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
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杨飞
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:铜布线 CMP 非离子表面活性剂 化学机械抛光 BTA
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杨志欣
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:表面活性剂 BDD CMP 化学机械抛光 大分子
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张晓宇
供职机构:河北工业大学能源与环境工程学院
研究主题:采暖 秸秆压块 水套 喷雾 数值模拟
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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