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杨昊鹍

作品数：5 被引量：14H指数：3
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
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合作作者

领域

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主题

  • 12个化学机械抛光
  • 12个机械抛光
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  • 4个低K介质材料
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机构

  • 13个河北工业大学
  • 1个河北工学院
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资助

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传媒

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  • 1个技术与市场
  • 1个电镀与精饰

地区

  • 13个天津市
共 13 条 记 录，以下是 1-10
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙鸣
供职机构：河北工业大学
研究主题：抛光液 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王辰伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张宏远
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 抛光速率 化学机械平坦化 磨料 铜互连线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于江勇
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 混合磨料 化学机械抛光 LED 蓝宝石衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈蕊
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 铜布线 抛光液 化学机械抛光 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
洪姣
供职机构：河北工业大学
研究主题：BTA 螯合剂 CMP 接触角 TA
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏显召
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 混合磨料 LED 蓝宝石衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田园
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP AL合金 碱性条件 活性剂 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李英的
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 混合磨料 化学机械抛光 LED 蓝宝石衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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