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张自军

作品数:1 被引量:1H指数:1
供职机构:中国科学技术大学更多>>
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领域

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沈连婠
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:基于WEB 大规模定制 仿真 优化设计 接近式光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周洪军
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:多层膜 真空紫外 光束线 磁控溅射 软X射线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑津津
供职机构:中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系
研究主题:接近式光刻 高次谐波 英文 曲面重构 三维重建
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈有梅
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:SU-8光刻胶 SU-8 掩模 英文 计算机模拟
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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