2025年1月16日
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张自军
作品数:
1
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H指数:1
供职机构:
中国科学技术大学
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发文基金:
中国科学院“百人计划”
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
沈连婠
中国科学技术大学工程科学学院精...
郑津津
中国科学技术大学工程科学学院精...
周洪军
中国科学技术大学
陈有梅
中国科学技术大学工程科学学院精...
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沈连婠
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:基于WEB 大规模定制 仿真 优化设计 接近式光刻
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周洪军
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:多层膜 真空紫外 光束线 磁控溅射 软X射线
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郑津津
供职机构:中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系
研究主题:接近式光刻 高次谐波 英文 曲面重构 三维重建
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相关人物
供职机构
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研究领域
陈有梅
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:SU-8光刻胶 SU-8 掩模 英文 计算机模拟
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