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于妍
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供职机构:
中国电子科技集团公司
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合作作者
吕菲
中国电子科技集团公司
杨洪星
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赵权
中国电子科技集团公司
张伟才
中国电子科技集团公司
刘春香
中国电子科技集团公司
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杨洪星
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:锗 单晶片 抛光片 晶片 表面粗糙度
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吕菲
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 锗 晶片 清洗工艺 抛光液
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赵权
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 锗 锗单晶 晶片 抛光片
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张伟才
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:硅单晶 锗 单晶片 晶片 硅片
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刘春香
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 抛光片 抛光液 抛光 砷化镓
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索开南
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:区熔 少子寿命 硅 区熔硅单晶 SI单晶
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韩焕鹏
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:硅单晶 锗 单晶炉 晶片 单晶片
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杨静
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:晶片 锗 单晶片 削片 损伤层
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佟丽英
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 抛光片 电阻率 硅单晶 少子寿命
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吕菲
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:化学机械抛光 抛光 表面粗糙度 VB 抛光片
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