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一种近零功率微机械光开关
本申请属于射频MEMS器件领域，涉及一种近零功率的微机械光开关。包括：驱动结构；悬臂结构；支撑结构和底电极结构。本专利申请的近零功率微机械光开关改变悬臂的高低热膨胀系数材料的排列位置，使悬臂的驱动的方式发生改变，平衡了驱...
赵继聪侯海洋党岩盟林叶繁孙海燕
一种基于等离子体吸收器的微机械光开关
本申请属于射频MEMS器件领域，涉及一种基于等离子体吸收器的微机械光开关。包括：顶部驱动结构，包括悬臂结构和表面等离子体红外吸收结构；底部电极结构；支撑结构；设置于所述底部电极结构的上表面，使所述顶部驱动结构与所述底部电...
赵继聪林叶繁党岩盟侯海洋孙海燕
微机械光开关的设计与制造
随着光传送网向超高速、超大容量、智能化的方向发展,网络的生存能力、网络的保护倒换和恢复、智能选择切换成为网络关键问题。大容量、高速交换、透明、低损耗的光开关在光网络发展中起到更为重要的作用。 本论文设计及研制...
朱继华
关键词：光开关激光焊接气密性封装误差分析
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柔性悬臂微机械光开关制作方法
本发明属于光电器件技术领域，是一种柔性悬臂微机械光开关的制作方法。制作过程包括：基片处理，制作牺牲层，制作聚酰亚胺底层，制作第一层线圈，制作线圈连接柱，制作第二层线圈，制作上保护层及悬臂释放，粘接永磁体，安装棱柱形微反射...
梁静秋钟砚超梁中翥陈斌孙德贵
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微机械光开关的闩锁及制作
本发明涉及微机械光开关的闩锁它包括：悬臂2、下层基片3、固定梳齿4、可动梳齿5、锚点6、闩7、倾斜下电极8、倾斜绝缘层9、水平下电极10及水平绝缘层11，制作步骤：首先在衬底上涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、刻蚀掉闩锁图形...
梁静秋董玮明安杰陈维友王立军
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柔性悬臂微机械光开关
本发明属于光电器件技术领域，是一种柔性悬臂微机械光开关。开关固定端与悬臂二者为一体，位于基片上表面；开关固定端的下表面与基片上表面相接触并固定，使悬臂的一端在基片上悬浮；线圈位于悬臂上表面远离开关固定端的一端，并固定在悬...
梁静秋李伟梁中翥马文生孙德贵
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柔性悬臂微机械光开关制作方法
本发明属于光电器件技术领域，是一种柔性悬臂微机械光开关的制作方法。制作过程包括：基片处理，制作牺牲层，制作聚酰亚胺底层，制作第一层线圈，制作线圈连接柱，制作第二层线圈，制作上保护层及悬臂释放，粘接永磁体，安装棱柱形微反射...
梁静秋钟砚超梁中翥陈斌孙德贵
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微机械光开关的应用及控制被引量：4
2005年
本文以MEMS光开关为研究对象,详细介绍了MEMS的工作原理及其特点,并结合开发经验介绍用AT89C8252单片机、PLD和光传感器制成的光开关及与计算机之间的通信。
徐小顺刘鹏
关键词：MEMS光传感器微机械光开关MEMS光开关光传感器单片机计算机
一种利用金属材料制作的微机械光开关
本发明涉及一种利用金属材料制作的微机械光开关，属于光电子器件领域，该结构由基板、微镜、通孔、V形槽、双侧悬臂梁、临时支撑梁、下电极、止动结构和防击穿层等构成，其中微镜的设计为水平结构，以金属为材料，通过在静电驱动下，其双...
罗元张正元黄尚廉徐世六
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利用（110）硅片制作微机械光开关、光开关阵列的方法
本发明涉及一种利用(110)硅片制作静电驱动微反射镜型扭臂结构的微光电子机械系统(MOEMS)光开关、光开关阵列的方法。微机械光开关由在硅片(1)上制作的上电极(2)、微反射镜(3)、扭臂(4)和自对准光纤槽(5)以及玻...
董玮陈维友刘彩霞张龙徐宝琨
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相关作者

董玮
作品数：249被引量：185H指数：7
供职机构：吉林大学
研究主题：SUB 光开关 微波信号源 微波光子学 紫外探测器
陈维友
作品数：185被引量：185H指数：7
供职机构：吉林大学
研究主题：光开关 倾斜下电极 微反射镜 静电驱动 MOEMS
王跃林
作品数：723被引量：798H指数：14
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 键合 制作方法
梁静秋
作品数：573被引量：575H指数：12
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：傅里叶变换光谱仪 成像光谱仪 阵列器件 电铸 光子晶体
李铁
作品数：359被引量：139H指数：6
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米