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- 一种MEMS陀螺仪
- 本发明提供一种MEMS陀螺仪，该MEMS陀螺仪包括：衬底、器件层、驱动结构、驱动电极结构、检测结构、检测梁及检测电极单元，其中器件层固定于衬底上且包括多个相互连接且呈阵列排布的结构单元；驱动结构位于结构单元中且包括质量体...
- 陈方周景川
- 一种小体积MEMS传感器数据记录仪
- 2025年
- 对飞行器发射航行阶段的数据测试是目前研究的重要方向。数据记录仪作为一种可装载的数据采集装置,具有重要的研究价值。针对小型飞行器的数据采集工作,提出了一种具有小体积、低功耗、高性能以及高抗过载能力的微电子机械系统(MEMS)传感器数据记录仪。它能够对三轴角速度、加速度以及磁场数据进行同步测量。数据计算和实验测试结果表明,记录仪总体积为22.4 cm^(3),工作状态下的功耗仅为0.68 W。通过抗过载工艺使系统抗过载能力达到了18000g,实现了对于小体积、低功耗和高抗过载能力的特性要求。通过Labview软件对磁场数据进行测量及误差分析,得到线性度误差最大值仅为-1.14%,满足HMC1053三轴磁传感器线性度误差优于±1.8%的指标要求,能够实现对于小型飞行器发射航行过程中的数据采集,具有很高的可行性。
- 尚义航赵凯明赵凯明张斌珍
- 关键词：小体积
- 一种MEMS器件及其制造方法
- 本发明公开了一种MEMS器件及其制造方法，所述器件包括：第一结构和第二结构，所述第一结构至少包括由下至上依次设置的衬底、固定电极层、第一支撑部、活动电极层和第二支撑部，所述第二结构至少包括帽层，所述第一结构与所述第二结构...
- 金文超李少平杨国庆高多多张冰颜凯董旸王洁
- 集成MEMS芯片及其制造方法
- 一种集成MEMS芯片及其制造方法，其中，制造方法包括：形成第一基底，包括第一结构层、以及位于第一结构层表面的第一介电膜，第一结构层具有相互独立的第一开口和第二开口，第一介电膜与第一结构层的材料不同；在第一基底上形成MEM...
- 翁国军
- MEMS汽车压力传感器的标定算法研究
- 2025年
- 压力传感器广泛应用在工业自动化、汽车电子、医疗设备和消费电子等领域,在汽车中的发动机、空调和TPMS(汽车轮胎压力监测系统)等零部件大量应用。标定过程是压力传感器关键工艺,标定过程中的保压和温控是该工艺的关键控制特性,为了确保传感器完全达到设定温度,标定过程需要很长的温度稳定时间,也需要高精度的温度和压力控制,为生产带来较大的困难,生产节拍难以提高,产量受到制约。新开发的压力传感器标定算法,将有效减少高精度压力和温度控制设备,避免昂贵设备投资,并且降低生产时间,提高生产率。文章以TPMS为例,介绍新标定设计方案,其他压力检测产品也可以借鉴。
- 孙路
- 关键词：MEMSTPMS惠斯通电桥多路复用
- 一种集成MEMS芯片及其制造方法
- 本发明的实施例公开了集成MEMS芯片及其制造方法，其中制造方法包括：提供第一衬底和第二衬底，在第二衬底的表面制作辅助开孔结构，并在辅助开孔结构上开设贯通的第一通气孔；在第一衬底开设有活动凹槽的表面上制作传感器结构；连接第...
- 翁国军
- 一种集成MEMS芯片及其制造方法
- 本发明的实施例公开了集成MEMS芯片及其制造方法，其中制造方法包括：提供第一衬底和第二衬底；制作覆盖第二衬底的一侧表面的电气互连结构；在电气互连结构上开设第一通气孔或制作覆盖第一衬底的一侧表面的辅助开孔结构，在辅助开孔结...
- 翁国军
- 一种MEMS加速度计及其应用
- 本发明公开了一种MEMS加速度计及其应用，该MEMS加速度计包括：基板；设置在基板上的若干单元；单元包括：质量块，质量块间隔于基板所在平面，且被配置为在第一加速度作用下可沿平行于基板的第一方向位移；杠杆结构，杠杆结构连接...
- 仇旭萍
- MEMS微型线圈及其在磁敏传感器中的应用
- 2025年
- 微电子机械系统(MEMS)微型线圈是磁敏传感器的重要元件,在磁传感技术领域发挥着重要作用。MEMS微型线圈在磁传感器中具有微小化、高集成度、高灵敏度、低功耗和低成本等优点,有助于提升磁传感器的性能。综述了MEMS微型线圈的优势、结构类型、传统制备工艺、新兴制备技术以及在磁敏传感器中的应用。重点介绍了MEMS微型线圈在巨磁阻抗效应传感器和磁通门传感器中的应用研究进展,并简述了其在其他磁传感领域的作用。最后对MEMS线圈的发展和应用前景进行了展望,为其设计和具体应用提供思路。
- 杨真陈靖元张朕泽祝梦娇黄家宝孙学成雷冲
- 关键词：微型线圈磁敏传感器磁通门传感器
- 高温MEMS器件高效高强度引线方法
- 本发明属于MEMS引线封装技术领域，涉及一种高温MEMS器件高效高强度引线方法，包括以下步骤：S1.在制备好敏感层且待引线的高温MEMS器件的引线区域涂覆一层导电浆料并烧结固化；S2.然后将导线压焊入烧结固化后的导电浆料...
- 张建波谭庆杨玉邓惠丹段青松李秀玲漆锐陈南菲冯科余海涛
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- 黄庆安
- 作品数：922被引量：857H指数：13
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- 研究主题：MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
- 苑伟政
- 作品数：662被引量：805H指数：12
- 供职机构：西北工业大学
- 研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 微机械陀螺 锚点
- 张国军
- 作品数：296被引量：310H指数：9
- 供职机构：中北大学
- 研究主题：矢量水听器 MEMS 水听器 纤毛 电容式
- 张文栋
- 作品数：1,210被引量：1,700H指数：19
- 供职机构：中北大学
- 研究主题：矢量水听器 MEMS 电容式 加速度计 超声换能器
- 刘理天
- 作品数：623被引量：885H指数：12
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
