搜索到 篇“ 硅晶 “的相关文章

相关作者

杨德仁
作品数：938被引量：869H指数：15
供职机构：浙江大学
研究主题：太阳电池 硅 直拉硅单晶 欧姆接触电极 硅片
顾忠华
作品数：43被引量：5H指数：1
供职机构：清华大学
研究主题：抛光 化学机械抛光 硅晶片 二氧化硅溶胶 磨粒
李理
作品数：134被引量：0H指数：0
供职机构：北大方正集团有限公司
研究主题：功率器件 外延层 氧化层 导电类型 硅晶片
潘国顺
作品数：167被引量：273H指数：11
供职机构：清华大学
研究主题：抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
龚桦
作品数：28被引量：16H指数：2
供职机构：清华大学研究院
研究主题：化学机械抛光 抛光 硅晶片 抛光液 二氧化硅溶胶