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- 纳米测量技术的现在与未来被引量:2
- 2013年
- 纳米技术源于20世纪80年代,随着它的逐步发展和完善,纳米技术已成为21世纪最重要的科学技术之一,它将在新世纪引起一场新的工业革命,人类将必然在认识和改造自然方面进入一个前所未有的新阶段。目前,纳米科学与技术这一学科可划分为六个部分:纳米物理学、纳米化学、
- 荣烈润
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- 双波长纳米测量技术及全固态激光器功率稳定系统研究
- 随着超精密加工、高精度位移传感器、微电子工业的发展,对位移测量的精度要求越来越高,传统的测量方法已经很难满足需要;各类偏振激光干涉仪,虽有较高分辨率及优异的测量重复性,但是若不经过精确修正,也会产生5~10nm的线性误差...
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- 面向21世纪的纳米测量技术被引量:2
- 2008年
- 介绍了纳米测量的必要性及特殊性,并介绍了几何量纳米测量的基本方法及仪器。
- 荣烈润
- 关键词:几何量干涉仪
- 光栅尺纳米测量技术研究及其发展被引量:6
- 2008年
- 介绍了光栅尺纳米测量技术的国内外研究现状,并对它们优劣进行了分析,在上述成果的基础上,得出一种以光栅栅距为测量基准,测量精度主要取决于光栅栅线的刻制精度的光栅干涉测量方法,它受光源光强和波长变化的影响很小,因此在工况条件下能够具有较好的测量精度和稳定性,符合大量程、高分辨力、动态等纳米测量技术的发展趋势,最后对此测量系统将实现样机仪器化、产业化进行了展望。
- 闫如胜马修水李桂华应仲阳
- 关键词:光栅尺
- 微纳米测量技术
- 本书讲述微纳米测量技术的基本理论和方法、微纳米测量系统的工作原理及构成以及对不同物理量的微纳米测量应用。
- 王伯雄等编著
- 关键词:纳米材料
- 纳米测量技术的挑战与机遇被引量:27
- 2005年
- 纳米测量技术是纳米科学技术的基础学科之一。纳米科学技术的快速发展,不但给纳米测量技术提出了挑战,同时也给纳米测量技术提供了全新发展的机遇。综述了国内外纳米测量技术发展的现状,重点讨论了纳米材料、纳米电子学和纳米生物学等领域所涉及的纳米测量与性能表征的难题和挑战,论述了纳米科技成果给纳米测量技术带来的发展机遇,最后对纳米测量技术的发展方向做了展望。
- 陈本永李达成
- 关键词:纳米测量技术纳米生物学纳米电子学基础学科纳米材料性能表征
- 纳米测量技术
- 2002年
- 扫描探测是纳米测量的核心技术,它的诞生促进了纳米技术的迅速发展和纳米时代的快速到来.论述了扫描探测技术在纳米测量中的作用和展望.
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- 光栅纳米测量技术及应用被引量:11
- 2001年
- 本文简要介绍了光栅纳米测量技术的主要研究内容 ,着重阐述了其应用实例———一种光栅纳米测微仪的原理结构和实现方法。从系统的重复性、分辨力和准确度三方面入手 ,深入地研究和探索解决光栅纳米测量过程中的各种关键技术问题的方法和途径 ,能够有效地将光栅测量的分辨力和准确度从亚微米量级提高到纳米量级。
- 余文新胡小唐邹自强
- 关键词:光栅测微仪分辨力
- 纳米测量技术与微型智能仪器被引量:18
- 2000年
- 纳米测量技术已成为纳米技术的重要组成部分。微型智能仪器 ,是微型传感器、微型执行器和信息处理技术、微电子技术发展的必然产物 ,是微型机械电子系统的主要研究内容之一。它将使仪器的性能提高、价格下降、在生产和生活中应用更加方便。微型智能仪器具有良好的应用前景 ,是 2 1世纪仪器发展的一个重要方向。对纳米测量技术和微型智能仪器的一些普遍问题、关键技术及其发展进行论述。
- 蒋庄德王海容王朝晖
- 关键词:智能仪器MEMS
- 纳米测量技术研究现状与发展趋势被引量:10
- 2000年
- 详细介绍了纳米测量系统的组成 :纳米传感技术、纳米扫描测试系统、信息处理与图像分析技术 ;综述了纳米测量技术国内外现状 ;在此基础上 ,提出了纳米测量需解决的关键技术及今后的发展方向。
- 陈本永吴昭同朱若谷
- 关键词:扫描隧道显微镜激光干涉仪
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- 曲凯歌

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