搜索到 篇“ PHOTOLITHOGRAPHY “的相关文章

相关作者

陈佳
作品数：19被引量：48H指数：3
供职机构：清华大学
研究主题：空间插值 电力系统 语言模型 产业技术创新战略联盟 标量场
黄庆安
作品数：922被引量：857H指数：13
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
朱骏
作品数：64被引量：6H指数：1
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：淀积 刻蚀 光敏材料 光刻胶 抗反射
李伟华
作品数：276被引量：191H指数：7
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
周再发
作品数：182被引量：82H指数：4
供职机构：东南大学
研究主题：残余应力 绝缘衬底 杨氏模量 多晶硅 元胞自动机