-
张贺
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:自动化与计算机技术
- 发文基金:北京市科技新星计划
相关作者
- 陈岚
- 作品数：876被引量：151H指数：5
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：版图 电路 研磨 集成电路版图 冗余
- 曹鹤
- 作品数：53被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：CMP 研磨 冗余 金属 化学机械研磨
- 孙艳
- 作品数：30被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：网格 金属 冗余 CMP 仿真方法
- 刘宏伟
- 作品数：12被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：表面形貌 仿真方法 形貌 CMP工艺 CMP
- 方晶晶
- 作品数：21被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：CMP 研磨 仿真方法 表面形貌 版图
