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方晶晶
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
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
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:自动化与计算机技术
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- 陈岚

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
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- 作品数:42被引量:7H指数:2
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:CMP 版图 网格 冗余 仿真方法