-
刘玲
-
-
- 所属机构:中国科学院光电技术研究所
- 所在地区:四川省 成都市
- 研究方向:电子电信
相关作者
- 罗先刚
- 作品数:652被引量:296H指数:8
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:光刻 超分辨 表面等离子体 掩模 金属
- 王长涛
- 作品数:209被引量:56H指数:4
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:超分辨 光刻 表面等离子体 掩模 衍射
- 刘凯鹏
- 作品数:64被引量:2H指数:1
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:光刻 超分辨 掩模 膜层 湿法腐蚀
- 冯沁
- 作品数:62被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:光刻 超分辨 多层膜 膜层 湿法腐蚀
- 赵泽宇
- 作品数:252被引量:40H指数:4
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:超分辨 光刻 表面等离子体 衍射 掩模