刘凯鹏
作品数: 72被引量:2H指数:1
  • 所属机构:中国科学院光电技术研究所
  • 所在地区:四川省 成都市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

罗先刚
作品数:697被引量:343H指数:9
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
赵泽宇
作品数:270被引量:44H指数:4
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射
王长涛
作品数:218被引量:62H指数:4
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射
刘玲
作品数:58被引量:1H指数:1
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:掩模 超分辨 光刻 湿法腐蚀 衍射
罗云飞
作品数:58被引量:7H指数:1
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 掩模 多层膜 表面等离子体