傅新
作品数: 456被引量:1258H指数:19
  • 所属机构:浙江大学
  • 所在地区:浙江省 杭州市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

杨华勇
作品数:1,692被引量:5,043H指数:35
供职机构:浙江大学
研究主题:液压系统 液压电梯 阀芯 盾构 轴向柱塞泵
谢海波
作品数:379被引量:272H指数:10
供职机构:浙江大学
研究主题:阀芯 微型无阀泵 大流量 机械臂 液压自由活塞发动机
邹俊
作品数:264被引量:265H指数:9
供职机构:浙江大学
研究主题:全柔性 硅胶管 底面 执行器 阀芯
陈文昱
作品数:94被引量:10H指数:2
供职机构:浙江大学
研究主题:光刻机 浸没 光刻系统 回收 投影物镜
胡亮
作品数:184被引量:46H指数:5
供职机构:浙江大学
研究主题:磁悬浮 电磁流量计 阀芯 线圈 波纹管
超洁净磁悬浮针阀设计与仿真优化
2023年
为了满足半导体加工等行业的超洁净流控要求,设计了一种超洁净磁悬浮针阀。超洁净磁悬浮针阀以超洁净氟塑料裹覆永磁体为阀芯,以电磁铁为外部驱动,利用磁悬浮原理实现阀芯的无接触控制。阐述了该磁悬浮针阀的工作原理,通过仿真计算,提出电磁铁的设计方案,对电磁铁的线圈和铁芯进行优化,为阀的力学性能和尺寸特征优化提供了方法指导,并针对阀芯受到的径向力和轴向力进行了分析,验证了方案的可行性。
龚轩刘明潇胡亮阮晓东苏芮傅新
关键词:半导体针阀磁悬浮
一种非接触式缝隙测量装置和方法
本发明公开了一种非接触式缝隙测量装置和方法。该测量方法用于精确测量上部被测物体下表面与下部被测物体上表面所形成缝隙的三自由度参数。测量传感器以不共线三点的形式安装于上部被测物体,其测量方向均与上部被测物体下表面垂直,调整...
傅新邵杰杰陈文昱施丽青
文献传递
一种时差式超声波流量计接收信号波峰序列位置判定方法
本发明公开一种时差式超声波流量计接收信号波峰序列位置判定方法。静态时,通过峰值保持电路从小到大至最大波峰,依次采样接收信号的静态波峰幅值,通过静态波峰峰值计算出接收信号波峰归属区域,动态时,从接收信号首次达到阈值电压时起...
傅新方泽华毛凯陈文昱夏子青
文献传递
NiTi/Si薄膜驱动微型无阀泵的系统研究被引量:5
2003年
介绍了形状记忆合金 /硅 (Ni Ti/Si)复合膜驱动的微型无阀泵的结构及工作原理 ,采用 Matlab对微泵的压力 P和流量 Q进行了计算和仿真 ,并将仿真结果与实验结果进行了对比。通过分析驱动膜的驱动频率与泵的几何结构对微泵性能的影响 ,得到微泵的优化方案。
刘玲谢海波傅新杨华勇徐东
关键词:SMAMEMS微型无阀泵
一种低滞环溢流阀
本发明公开了一种低滞环溢流阀。阀体开有小圆柱孔、锥形孔以及增大的两级阶梯圆柱孔,弹簧导套安装在第二级阶梯圆柱孔中;阀芯的小圆柱体、圆锥体和第一级阶梯圆柱体分别与阀体内的小圆柱孔、锥形孔以及第一级阶梯圆柱孔相配合,阀芯的第...
傅新易达云陆亮
文献传递
柱塞泵阻尼槽噪声特性研究被引量:20
2005年
提出了一种研究液压动力元件中阻尼槽噪声特性的新方法,通过把柱塞泵配流盘上的阻尼槽映射到滑阀上,隔离其他噪声源,对阻尼槽的气穴噪声特性进行单独研究.对两种典型阻尼槽(V形槽和U形槽)进行了压力分布测量、流场仿真及噪声信号测量,分析了阻尼槽结构、压力分布和噪声之间的内在规律.研究发现,配流盘吸油槽侧的渐扩形阻尼槽(V型槽)容易导致在柱塞腔卸压时出现气泡析出,诱发严重的气穴噪声,而具有等截面的阻尼槽(U型槽)压力回升快速,可以显著抑制气泡析出.
冀宏傅新杨华勇王庆丰
关键词:柱塞泵气穴噪声
光刻机浸没单元结构参数对流动状态的影响
2011年
不同的浸没单元结构会影响缝隙流场的流动状态,为了研究浸没单元结构参数对缝隙流场流动的影响规律,通过计算流体动力学(CFD)仿真,对浸没流场的流动进行了数值模拟,开展了不同的浸没单元的注液口形状和流场高度所形成的缝隙流场的流动状态分析。研究结果表明:90°~150°的注液口和0.7 mm~1 mm的缝隙高度为理想的结构参数。
赵金余陈晖傅新
关键词:浸没式光刻计算流体动力学
基于多阈值比较的超声波信号过零点预测方法
本发明公开了一种基于多阈值比较的超声波信号过零点预测方法。现有过零检测方法将信号与零电位进行电压比较,直接以测量方式确定信号过零点,存在抗干扰能力差的问题。本发明提出了一种基于多阈值比较的超声波信号过零点预测方法。该发明...
傅新毛凯胡亮
用于可植入式离心血泵中的血液被动控制悬浮轴承
本发明公开了一种用于可植入式离心血泵中的血液被动控制悬浮轴承。血泵的血液被动控制悬浮轴承是一种新型的血泵支承装置,环形的永磁磁钢安装在转子上,电磁线圈固定在定子上,定子顶部和底部开有螺旋槽,定子内圈开有弧形凹槽,转子上顶...
阮晓东林哲邹俊韩青傅新
文献传递
一种用于浸没式光刻机的垂直回收和气密封装置
本发明公开了一种用于浸没式光刻机的垂直回收和气密封装置。在浸没单元基体上开有中心锥孔,底面开有垂直气液回收腔和注气腔,浸没单元基体开有水平注液口和、水平液体回收口、注气口和垂直气液回收口;浸没单元下端盖上开有中心通孔,浸...
傅新王培磊徐宁陈文昱吴敏