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卢立延
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- 所属机构:北京有色金属研究总院
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家科技重大专项
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- 孙燕
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- 作品数:3被引量:0H指数:0
- 供职机构:有色金属研究总院
- 研究主题:硅抛光片 硅片 光刻材料 光刻 加工参数
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- 供职机构:北京有色金属研究总院
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- 作品数:3被引量:12H指数:2
- 供职机构:北京有色金属研究总院
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- 作品数:15被引量:32H指数:4
- 供职机构:北京有色金属研究总院
- 研究主题:直拉硅单晶 单晶炉 氧化诱生层错 硅单晶 挥发物
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- 作品数:75被引量:163H指数:9
- 供职机构:北京有色金属研究总院
- 研究主题:硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶