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国家高技术研究发展计划(2013AA041109): 作品数：28 被引量：53H指数：3; 相关作者：石云波邹坤赵赟于春华张雯雯更多>>; 相关机构：中北大学苏州中盛纳米科技有限公司苏州大学更多>>; 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>; 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程理学更多>>

高速精密定位平台振动误差补偿: 搭建了宏微结合精密定位系统以便减小定位平台在Z方向的振动误差,实现高精度定位。该系统由高性能直线电机驱动,气体静压导轨支撑和导向的宏动平台实现系统的大行程微米级定位,由安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动微动平台对系统进行Z方...; 刘吉柱张雯雯李健陈立国; 关键词：压电陶瓷误差补偿; 文献传递

基于MEMS技术的双凸台微型热电能量采集器的仿真和制备被引量：1: 2016年; 基于KOH腐蚀工艺设计并制作了具有双凸台结构的微型热电能量采集器,运用有限元法仿真器件在一定温差下的温度分布;并对器件建立了数学模型,分析凸台结构的几何参数等对器件输出性能的影响。仿真结果表明:随着顶部凸台高度的增加,温差的有效利用率逐渐升高;随着顶部凸台边长的增加,有效温差利用率逐渐降低;随着热冷端热阻的减小,器件的有效利用温差、开路电压、回路电流、输出功率都逐渐升高。从工艺上证明,基于MEMS技术的双凸台结构的微型热电能量采集器是可以加工和制备的。; 吴利青徐德辉熊斌; 关键词：MEMS 温差发电有限元分析数学建模

基于CY7C68013A和FPGA的4路数据采集系统设计被引量：2: 2015年; 为了解决数据采集系统中数据量大时传输速率慢的缺点,设计了一种利用CY7C68013A和FPGA实现的数据采集系统。设计中以FPGA为主控单元,通过控制A/D转换器AD7934实现对4路传感器信号的同步采集,将转换后的数字量存储到Flash中。Visual Basic作为上位机软件的开发平台,软件通过USB2.0接口芯片CY7C68013A发送指令来控制系统工作的几种状态,包括回传数据、存储、显示并分析数据。通过实际测试验证,数据采集系统能够满足对大容量数据实时采集、存储和上传的要求,具有体积小、传输速率快、高采样率、高可靠性、功耗低等特点,可广泛应用于弹体侵彻试验中对加速度信号的采集存储。; 智丹石云波董胜飞陈艳香杨志才; 关键词：可编程门阵列 USB2.0 CY7C68013A 数据采集 VISUAL

高精度定位平台X-Y方向振动误差补偿被引量：3: 2017年; 为了减小定位平台在X,Y方向的振动误差,实现高精度定位,搭建了宏微结合精密定位系统,由高性能直线电机驱动,气体静压导轨支撑和导向的宏动平台实现系统的大行程微米级定位,并由安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动的微动平台对系统进行定位精度补偿。建立了定位系统机电耦合振动模型,采用比例积分微分(proportion integral derivative,简称PID)控制与最小节拍响应控制相结合的策略控制宏动平台,采用前馈-PID控制驱动微动平台,通过电容式微位移传感器实时检测定位系统终端的位置输出信号作为微动台的输入信号,实现定位系统的闭环反馈控制,达到宏动平台的振动误差实时补偿的目的。实验结果显示,所设计的微动补偿平台具有良好的动态特性,定位系统具有良好的误差实时补偿效果,针对X,Y向的振动范围由补偿前的4和3.5μm,补偿后减小到1μm的范围内。结果表明,所研究的振动误差补偿方法可以有效减小定位系统的振动误差,提高系统的定位精度。; 刘吉柱张雯雯陈立国潘明强王阳俊; 关键词：压电陶瓷误差补偿

批量微加速度计翻滚实验平台设计被引量：1: 2014年; 针对目前微加速度计重力场翻滚实验设备一次只能对一只加速度计进行测试,基于SolidWorks软件平台设计了一种可一次对多只微加速度计进行翻滚实验,并且微加速度计夹具能与翻滚驱动装置自动结合与分离的新型翻滚实验平台。通过对用该平台测试的加速度计参数和现有设备测试的加速度计参数的对比表明,该平台一次可准确的对4只加速度计进行测试。; 薛彦辉石云波赵赟于春华; 关键词：微加速度计 SOLIDWORKS

基于UV-LIGA工艺的酸性电铸铜溶液最优化配比被引量：2: 2014年; 为了获得镀层平整、致密的金属铜结构,经过反复实验研究获得了电铸铜溶液的最优化配比。首先采用UV-LIGA工艺制作出SU-8胶膜微结构,其次以此光刻固化后的结构作为模具,进行电铸试验。通过对电镀参数的反复调整,获得效果最优的镀液配比分别为:CuSO4·5H2O的质量浓度为180 g/L,98%的H2SO4为70 g/L,纯度为37%的HCl是0.188 mL/L,光亮剂210A、210B、210C分别为0.4 mL/L、0.3 mL/L、4 mL/L。实验结果表明,电铸获得的模具镜面光亮、无分界、质量高。同时,对电镀方法进行了改进,选择在常温下进行电铸实验并加入超声波完成辅助机械处理,得到了高纯度的电铸铜层,铜的重量百分比达到了96.22%,铸层表面显微组织结构明显改善,大大改良了电铸层的力学性能及物理性能。; 南雪莉张斌珍张少华韩帅毛静; 关键词：超声处理常温

MEMS加速度传感器标定测试采集系统的设计: 2014年; 在传统MEMS加速度传感器标定设备的基础上,设计了一套基于以太网传输的20路传感器信号自动采集系统。W5300芯片作为硬件采集卡的核心,Visual Studio+QT作为上位机软件的开发平台。传感器产生的电压信号经过A/D采样,经由以太网收发模块将采集的数据通过网线传输给计算机。系统具有多通道连续采集、参数设置、数据存储、多路实时显示波形的功能。简化了数据采集过程,解决了因数据拥堵导致的数据丢失的问题,提高了标定测试采集效率。; 于春华石云波赵赟李祥; 关键词：加速度传感器数据采集 C++

柔性复合压电薄膜的制备及其电导率研究被引量：9: 2014年; 将具有优异导电性能的碳纳米管(CNT)与压电材料钛酸钡(BTO)复合于高分子有机材料聚二甲基硅氧烷(PDMS)中,制备出了具有低内阻的柔性复合压电薄膜,研究了制备的薄膜在不同极化条件下的开路电压以及不同体积配比的BTO/CNT压电薄膜的电导率。实验结果表明,在电场为3.6 kV/mm、温度是90℃、时间为60 min的极化条件下,当BTO与CNT的体积比N为2∶3以及BTO与CNT混合颗粒占PDMS基体的总体积比V为8%时,能得到具有最佳电导率的复合压电薄膜。; 海振银高立波李俊漾张强刘俊薛晨阳; 关键词：碳纳米管钛酸钡电导率 BATIO3

一种推挽驱动的微型磁传感器设计被引量：2: 2015年; 利用MEMS工艺,设计并制作了一种梳齿推挽驱动的微型磁场传感器。在器件工作时,磁传感器的谐振振子工作在收缩或扩张的模态,进而引起谐振振子上的双层铝线圈包围面积发生变化,即回路线圈中的磁通量发生变化。根据电磁感应原理,将会在线圈的两端产生正比于磁场强度的感应电压。推挽驱动结构设计增加了谐振器驱动力,提高了磁传感器的灵敏度。实验结果表明:磁传感器在大气环境下的灵敏度为0.846 99 m V/T,非线性度为-0.265%。由于传感器采用差分检测电路,减小了磁传感器的零偏电压,零偏输出电压仅为0.001 9 m V。; 徐华英徐德辉熊斌毕勤王东平; 关键词：磁传感器微机电系统电磁感应

大行程精密定位平台偏摆误差的补偿方法被引量：1: 2017年; 精密定位平台在导轨动连接处刚度较差,在高速高动态工作中这里易产生偏摆振动。为了减小偏摆误差对定位平台的影响,提高定位精度,通过对直线电机驱动、气浮导轨支撑和导向的高精度定位平台进行研究。根据定位平台偏摆误差的动态特性,采用偏摆误差补偿方法,设计一种偏摆误差检测系统,采用平尺和微位移传感器相结,具有高频响、非接触式的特点。设计了一种基于压电陶瓷驱动的x,y两维微位移补偿机构。同时,通过将气浮导轨滑块副简化成弹簧、质量和阻尼相结合的系统,推导出了定位平台两自由度的偏摆振动模型。基于误差补偿系统的偏摆误差补偿实验表明,精密定位平台的定位精度得到了较大提高,定位平台的定位精度优于2μm。; 刘吉柱李健张雯雯王阳俊潘明强陈立国; 关键词：压电陶瓷误差补偿

国家高技术研究发展计划(2013AA041109)

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