国家自然科学基金(59875055)
- 作品数：7 被引量：35H指数：3
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- 相关领域：机械工程电子电信理学一般工业技术更多>>
- 支承硅微谐振器的弹性系统分析被引量：1
- 2000年
- 对支承硅微谐振器的两种弹性系统———直脚型和蟹脚型结构进行了全面的力学分析 ,给出了应力、位移及弹性常数等力学参量的计算方法 ,对两种结构进行了比较 ,并对蟹脚型结构进行了优化设计 ,优化后的结构其应力位移比值σmax/x的最小值可达2 .594MPa/μm
- 丁晓红陈晓阳张志红
- 关键词：应力
- 引导硅微结构弹性系统的力学分析方法
- 2000年
- 对静电梳微谐振器中引导硅微结构的弹性系统进行了全面的力学分析 ,建立了符合实际的力学模型 ,提出了有关的力学分析方法 ,推导了应力、位移、弹性常数等力学参量的计算公式。与国外文献相比 。
- 丁晓红李国杰
- 关键词：力学模型应力
- 静电梳微谐振子直脚型结构的振动特性被引量：3
- 2000年
- 静电梳微谐振子是微机械领域常用的直线型驱动装置。运用梁的理论讨论了一种常见的结构———直脚型结构的振动特性 ,提出了计算结构谐振频率的实用算法。并探讨了影响谐振频率的几何参数 。
- 丁晓红陈晓阳沈雪瑾
- 关键词：谐振频率微机械
- 薄膜型硅微机械的摩擦学问题被引量：13
- 2002年
- 根据现阶段表面硅 IC工艺微机械的特点 ,分析了其接触副与动构件间的相对运动形式 ,探讨了基于此加工技术所开发的薄膜型结构微机械的摩擦源及其摩擦产生机理 ,结合宏机械的发展历史 。
- 陈晓阳沈雪瑾陆景唐
- 关键词：IC工艺摩擦学MEMS微机械
- 蟹脚型微谐振器的横向振动分析被引量：16
- 2001年
- 在结构和受力的对称性并非完全相同的认识基础上 ,建立了蟹脚型静电微谐振器横向振动的简化力学模型 ,分析了其蟹脚型挠性支承杆的受力情况 ,发现其属五次静不定问题 ,据此导出了相关应力、横向位移、弹性常数和谐振频率等设计计算方法 ,与已有静定力学模型的分析结果相比 。
- 陈晓阳宋晓珏沈雪瑾王小静
- 关键词：微型机械
- 微谐振器的静电摩擦力分析
- 微型机械由于几何尺寸的微小化,使得与尺度低次方有关的粘性力、表面张力、静电力、摩擦力等表面力的作用显著增强,静电力是其中比较长程的作用力。因为微结构表面难以控制的表面陷落电荷的存在,任何表面都有可能带有电荷,产生静电场。...
- 王建贵沈雪瑾陈晓阳
- 关键词：微谐振器表面粗糙度
- 文献传递
- 静电梳微谐振子蟹脚型结构的振动特性被引量：4
- 2000年
- 运用梁的理论讨论了静电梳微谐振子常见结构———蟹脚型结构的振动特性 ,推导出计算蟹型结构谐振频率的计算公式 ,分析了各几何参量对结构谐振频率的影响 ,并和静电梳微谐振子的另一种常见结构———直脚型结构的振动特性进行了比较。
- 丁晓红陈晓阳沈雪瑾
- 关键词：谐振频率微机械
- 硅微弹簧-滑块摩擦力测试结构静力学分析被引量：2
- 2002年
- 为了研究微机械摩擦问题，设计了一组硅微弹簧摩擦力测试结构，并对其进行了静力学分析，导出系统弹性系数的计算方法，分析了强度及应力分布特点。对比ＡＮＳＹＳ仿真结果，分析了两种分析方法的差异原因，得出微结构中拉簧对测试微结构力学性能影响最大，弯簧根部应力最大，而拉簧直角拐弯处应力最大。
- 王建贵沈雪瑾陈晓阳
- 关键词：结构静力学微机械拉簧仿真
