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教育部高等学校骨干教师资助计划(582583)
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1
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相关作者:
王凯
赵新
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2006
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微泵动态模型和虚拟运行
2006年
虚拟运行是MEMS器件运行规律的图形化展示,虚拟运行的基础是器件动态模型。首先分析了微泵的静态模型。以有限元分析数据为起点,获得了膜片静态模型。随后给出了阀片的静态模型,得到变形解析表达式且只包含压力变化量。然后以静态模型为基础,从分析微泵运行机制入手,从并不充分的实验数据中得到微泵的动态运行规律。最后基于上述动态模型实现了微泵的虚拟运行,对照实测实验结果,它具有较高的精度。在虚拟环境中可以在线看到虚拟运行状态的相应变化,最终达到了在设计参数和器件运行之间建立直接联系的目标。
赵新
王凯
卢桂章
谭宜勇
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MEMS
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