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ICP刻蚀技术及其在MEMS中的应用: 2014年; ICP技术是微纳加工中的常用技术之一,由于在加工过程中的可控性较高,因此在MEMS的加工中有着越来越重要的地位。本文主要对硅基MEMS器件的刻蚀原理进行分析,并简要介绍在加工过程中如何对过程进行控制已达到想要的结果。; 贾英茜李莉容旭巍; 关键词：MEMS 刻蚀 ICP

金-金热压键合技术在MEMS中的应用被引量：3: 2014年; 微电子机械系统(MEMS)的发展对目前的加工工艺提出了很大的挑战,键合技术是微机械加工中的重要技术之一.由于对键合温度和键合表面的要求较低,金-金热压键合在MEMS器件的在加工中受到越来越多的重视.金-金热压键合工艺包括金属化前处理、表面金属化、金属表面处理及热压键合几个步骤,文中对影响键合效果的因素进行分析.在分析的基础上采用苏斯公司的MA6/BA6键合台在300℃的键合温度下进行键合实验,键合强度达到体硅的强度,并以金-金热压键合工艺为基础,制作出THz波导和微机械谐振器.; 贾英茜李莉李倩杨志; 关键词：微电子机械系统溅射

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博士科研启动基金(11BJ006)