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中央级公益性科研院所基本科研业务费专项(JY10000904016)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：贾建援田文超更多>>
相关机构：西安电子科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金中央级公益性科研院所基本科研业务费专项更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇大位移
  • 1篇低驱动电压
  • 1篇驱动电压
  • 1篇驱动器
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇微驱动
  • 1篇微驱动器
  • 1篇挠度
  • 1篇挠度方程
  • 1篇硅基

机构

  • 1篇西安电子科技...

作者

  • 1篇田文超
  • 1篇贾建援

传媒

  • 1篇西安电子科技...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
硅基大位移低驱动电压静电微驱动器变形分析被引量：2
2012年
针对目前横向加载单向变形静电微驱动器存在的位移过小或驱动电压过大的问题,提出一种基于纵横弯曲变形原理的硅基大位移低电压静电微驱动器模型,将弹性力由传统意义的恢复力改变为驱动力,推导出微驱动器挠度变形的控制方程.通过仿真发现,该驱动器的驱动位移高达145μm,远大于目前微驱动器的变形量;驱动电压仅为5V,远低于目前微驱动器的驱动电压值.
田文超贾建援
关键词：微电子机械系统微驱动器挠度方程
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