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中央级公益性科研院所基本科研业务费专项(JY10000904016)

作品数：1 被引量：2H指数：1
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田文超
供职机构：西安电子科技大学机电工程学院
研究主题：MEMS 微电子机械系统 原子力显微镜 粘着力 微驱动器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾建援
供职机构：中兴通讯股份有限公司
研究主题：微电子机械系统 MEMS 微通道 原子力显微镜 PETRI网
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