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白光干涉解调光纤MEMS压力传感器被引量：8: 2014年; 为了在强电磁干扰、高温、高压等恶劣环境下实现压力的测量,进一步提高传感器的小型化并降低其制作成本,提出并设计了一种基于白光干涉解调的光纤法布里-珀罗压力传感器,实现了传感器的压力测量.基于微机电系统技术,采用光刻、阳极键合以及化学腐蚀的方法制作了以硅和玻璃构成的法布里-珀罗腔体,使用二氧化碳激光器对法布里-珀罗腔体与光纤进行焊接.基于白光干涉解调技术,利用斐索干涉仪与法布里-珀罗腔体的互相关关系对传感器进行了解调,并做了压力实验.实验结果表明：传感器在120～300kPa范围内具有较高的腔长变化灵敏度和线性度,分别为9.012 7nm/kPa和99.9%;传感器分辨率为0.1nm,重复性为0.1%.研究成果对低成本、高一致性光纤F-P传感器的批量制作具有一定的参考价值.; 江小峰林春谢海鹤颜黄苹张建城黄元庆; 关键词：白光干涉 MEMS 激光焊接

MEMS F-P干涉型压力传感器被引量：14: 2014年; 为了满足工业、航天、国防等领域对微型化压力传感器的需求，提出了基于微机电系统（MEMS，Micro electromechanical System）技术制作的非本征型光纤法布里-珀罗（F-P）压力传感器，该传感器传感头由全玻璃材料构成。主要研究了MEMS技术制作全玻璃结构式压力传感器工艺，结合溅射、光刻、腐蚀等工艺在7740 wafer基底上制作出F-P腔体，利用低压化学气相沉积（LPCVD）的方法在基底上沉积一层40 nm的非晶硅作为中间层。通过阳极键合技术在温度400℃下完成玻璃与玻璃的键合，并搭建了该传感器的压力测量平台。实验结果表明：在压力线性范围0-400 kPa内传感器具有很高的重复性，达到0.3%。灵敏度达到1.764 nm/kPa；在传感器使用范围0-80℃内，热敏感系数为0.15 nm/℃。该传感器的研究对设计制作改善了该类传感器的热膨胀失配问题，对低温漂型压力传感器的研究有一定参考价值。; 江小峰林春谢海鹤黄元庆颜黄苹; 关键词：光纤传感器 MEMS

心电信号小波去噪的改进算法研究被引量：34: 2017年; 对心电信号(ECG)中的基线漂移、工频干扰和肌电干扰等噪声进行去除,在波形识别、医疗诊断和治疗等领域具有重要意义。提出用sym5小波函数对心电信号进行8层小波分解。根据有用信号强度在每一层平均分配而噪声强度随分解层数增加而减少的规律,将分解得到的每一层的小波细节系数设置不同的阈值,最后用所提出的新阈值函数进行小波阈值去噪。该阈值函数既能克服硬阈值函数在阈值附近不连续的缺点,又可弥补软阈值函数与原函数之间存在固定差值的不足。以MIT-BIH心电数据库中的101号文件作为原始数据,将整个数据文件进行平均分段,每段有1 200个数据点,对每段数据进行加噪仿真分析,结果表明所提出的去噪算法得到的去噪信号信噪比比硬阈值函数和软阈值函数分别提高2.31%和8.04%,从而证明所提算法的有效性。; 郑敏敏高小榕谢海鹤; 关键词：心电信号小波函数阈值阈值函数信噪比

Method Research for Determination of PM2.5 Concentration with a New Developed Vibration Sensor: This paper evaluates the existing methods for determining ambient PM2.5 concentration,including gravimetric,P-...; Yongzhong NieHuangping YanYuanqing Huang; 文献传递

塑料光纤通信650nm单片集成光接收芯片研究被引量：1: 2013年; 设计了一种用于塑料光纤通信的650nm单片集成光接收芯片,包括光电探测器、跨阻前置放大器、单双端转换、差分放大器、输出缓冲器及失调电压补偿电路.基于合理假设与近似,从稳态连续方程和边界条件出发,分析了探测器的光谱响应;采用拉普拉斯变换方法,分析其频率响应.采用0.5μm BCD工艺流片,光接收芯片版图面积832×948μm2进行测试,结果表明5V反向偏压下,探测器在650nm的响应度为0.26A/W;光接收芯片在180Mbps速率及误码率小于10-9情况下,灵敏度为-14.6dBm;在100Mbps非归零伪随机二进制序列信号速率及误码率小于10-9情况下,能得到清晰的眼图.; 颜黄苹程翔黄元庆谢海鹤; 关键词：单片集成光电探测器

膜层传输矩阵理论在布拉格光纤光栅分析中的应用被引量：9: 2015年; 利用膜层传输矩阵理论研究折射率调制对布拉格光纤光栅传输特性影响.根据传输矩阵理论计算光栅折射率的调制幅度、光栅长度、调制方法等对布拉格光纤光栅的反射率、反射峰波长和半幅宽度的影响.结果表明:膜层传输矩阵理论与传统传输矩阵法、耦合模理论对布拉格光纤光栅特性分析结论一致;采用高调制长度、低调制幅度可以获得良好的布拉格光纤光栅反射峰,而反射主峰位置改变需用调整调制周期.实验和理论对比分析了主峰在1 550nm波长的布拉格光纤光栅反射峰情况,验证了该方法的可行性.与传统方法相比,膜层传输矩阵法计算公式简单、运行速度快,可应用于布拉格光纤光栅辅助设计.; 谢海鹤林振衡颜黄苹陈延平黄元庆; 关键词：布拉格光纤传输特性光子晶体

铋层状与铌酸锂复合压电陶瓷传感器的温度特性被引量：5: 2016年; 铋层状结构铁电体具有良好的机械性能和较高的居里温度Tc,因而被广泛用作高温传感器的敏感器件.高温压电传感器在核能、燃气轮机、航空、舰船发动机以及需要测量高温振动和压力的场合有着极大需求,但目前国内外用于这些领域的基于铋层状压电传感器在高温时的灵敏度与常温时比较,漂移率达到10%~20%,无法满足满温度范围内（-50~450℃）传感器的灵敏度温漂的要求（≤±5%）.因此,本文研究了一种铋层状与铌酸锂复合的压电陶瓷传感器,进行了传感器温度特性理论分析,建立了相应数学模型,并进行实验验证.测试结果表明,这种新型复合式压电陶瓷传感器满温度量程灵敏度漂移小于±3%,具有优异的温度特性,无需采用软件修正测量偏差,能满足美国航空无线电技术委员会（RTCA）制定的DO160要求,可直接用于高温环境的温度精密测量.; 聂泳忠颜黄苹黄元庆; 关键词：温度漂移 BI4TI3O12 LINBO3

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福建省自然科学基金(2013J01251)