国家科技重大专项(2009ZX02012)
- 作品数：15 被引量：61H指数：4
- 相关作者：徐方曲道奎黄玉钏邹风山李学威更多>>
- 相关机构：中国科学院中国科学院研究生院沈阳新松机器人自动化股份有限公司更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家高技术研究发展计划全国教育科学规划课题更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程金属学及工艺电气工程更多>>
- 真空并联机器人轨迹规划仿真被引量：4
- 2012年
- 为了实现FROG-LEG型真空并联机器人准确经过多个中间位姿点的路径规划,研究了类机器人NURBS曲线路径规划的关键问题。通过建立FROG-LEG型并联机器人等效的串联运动学模型,获得了机器人运动学的正反解,在运动学基础上设计了该类机器人基于NURBS曲线的路径规划方案。通过Matlab的robot tool工具箱,进行了FROG-LEG型真空并联机器人运动学和路径规划的仿真。仿真结果证明,路径规划方案可以很好的让机器人通过中间插补位姿。从而从理论上解决了FROG-LEG型真空并联机器人路径规划中需要精确经过多个插补位姿的难题,并为实现FROG-LEG型真空并联机器人采用NURBS曲线轨迹规划提供理论依据。
- 黄玉钏曲道奎徐方
- 关键词：运动学
- 伺服电机的预测控制与比例-积分-微分控制被引量：11
- 2012年
- 为完成伺服电机平稳而快速的控制,根据预测控制方法中动态矩阵控制原理,提出了基于动态矩阵的预测控制和比例-积分-微分(PID)控制的伺服电机的控制方案。分析了交/直流伺服电机三环控制的统一模型,用预测控制器设计了伺服电机的电流环,提出了利用上升时间和稳态值确定电流环等效惯性环节的方法,最后用PID控制器设计了速度环和位置环。计算和仿真结果表明,电流环的等效惯性环节时间常数与-ln(0.368)成反比,该预测控制和PID混合控制可以很好地实现伺服电机平稳快速的运行。
- 黄玉钏曲道奎徐方任晓磊
- 关键词：伺服电机预测控制动态矩阵电流环比例-积分-微分
- 基于自然正交补的真空机器人动力学建模被引量：8
- 2012年
- 基于自然正交补方法,推导出了一种真空并联机器人简洁的动力学模型.首先得到真空并联机器人的等效串联模型,并获取其运动学正反解.然后用利用自然正交补的理论给出真空机器人的动力学模型.通过仿真实验,可以验证该方法的可行性和有效性.
- 黄玉钏曲道奎徐方
- 关键词：动力学
- 预对准机与机械手相对坐标系标定
- 2013年
- 在对预对准机建模仿真的基础上,根据晶圆预对准的误差精度分析结果,利用误差转化的方法将预对准机自身误差转化成预对准机与机械手相对坐标系误差,从而实现预对准机自身与相对坐标系的综合标定。针对预对准机与机械手相对坐标系的标定提出了多种方法,并选取了适用于实际情况的方法进行了标定实验,验证了方法的有效性。这种综合标定方法弥补了现有实验条件的不足,避免了对不易标定参数的直接标定,简化了标定过程,提高了设备初始安装与调试的效率。
- 李学威冯亚磊张鹏栾显晔张金果
- 关键词：建模仿真标定方法误差补偿
- 晶圆预对准系统建模及仿真被引量：4
- 2013年
- 为了对晶圆预对准过程进行建模及仿真,建立了晶圆边缘数据采集模型,其重点在于缺口模型的建立。首先采用分段函数法对晶圆边缘曲线进行建模,再根据几何关系分段建立晶圆边缘数据采集模型。最后,根据所采集到的晶圆边缘的数据分别采用不同算法计算出晶圆的偏心及缺口的方向。该模型不但建立了包括缺口在内的完整晶圆边缘模型,而且还考虑了转动中心偏置及CCD分辨率等的影响,利用此模型可以系统的对晶圆预对准过程进行深入的研究。
- 孙义田李学威张一博何书龙张鹏
- 关键词：偏心建模仿真
- 基于可调惯量比的伺服系统低频谐振控制被引量：9
- 2010年
- 在传动系统中,由大惯量负载和弹性连接轴所引起的低频谐振现象会使负载在运动过程中产生低频振动,影响系统的运动控制性能。在设计扰动观测器的基础上提出了可调惯量比的控制策略,通过在控制回路中调节负载惯量与电机转子惯量的比值至理论推导的最优值,实现了同时对电机输出轴和负载的低频干扰抑制,使伺服系统可以有效控制大惯量负载进行平稳运动,理论分析与仿真实验均证实了该方法的可行性。
- 黄梁松曲道奎徐方邹风山
- 关键词：伺服系统扰动观测器
- 晶圆预对准系统误差仿真分析被引量：1
- 2013年
- 为了系统的研究各参数对晶圆预对准精度的影响,建立了晶圆边缘数据采集模型,实现了在不同条件下包括缺口在内的晶圆边缘完整数据的采集,并在此基础上采用目前较为常见的预对准算法对晶圆的偏心及缺口位置进行计算,再将计算结果与设定的实际晶圆偏心及缺口位置进行对比,得到计算误差。通过对不同条件下仿真结果的对比,系统地研究了晶圆预对准过程中各参数对其精度的影响规律,获得了与晶圆预对准误差的控制、标定及补偿相关的重要结论。
- 李学威孙义田何伟全张鹏陈守良
- 关键词：偏心CCD
- 基于位置误差的真空机器人碰撞保护研究被引量：2
- 2011年
- 要保证碰撞发生时真空机器人与晶片的安全,避免造成较大的损失,真空机器人必须具有碰撞保护功能。在研究真空机器人位置误差变化的基础上,不使用额外的传感器,建立基于位置误差模糊推理的碰撞保护系统。该系统选用二维的模糊控制器来确定位置误差的阈值,以机器人加速度、机械惯量作为输入条件,估计的系统位置误差作为输出条件;并提出了不同的保护策略。最后给出了真空机器人碰撞的实验结果,结果表明该碰撞保护方法具有较高的准确性和灵敏度。
- 邹风山曲道奎徐方宋吉来
- 关键词：碰撞检测
- 真空机器人轨迹规划研究被引量：3
- 2011年
- 为了使真空机器人获得高速、高精度的运动性能并减少系统的残余振动,文中提出了一种加加速度受限的非对称轨迹规划方法。首先阐述了该轨迹规划方法中轨迹限制条件的定义,然后根据定义的限制条件值给出了所有可能的加速度轨迹形状,并给出了各种轨迹形状下的完整算法及实现,最后将该算法应用于真空机器人运动规划中,该机器人用于在真空腔室中进行硅片传输工作。实验结果表明该方法可以有效地提高机器人的定位精度和效率并减少系统的残余振动。
- 邹风山曲道奎徐方
- FROG-LEG型真空机械手的动力学建模与仿真被引量：1
- 2014年
- 根据FROG-LEG型真空机械手的结构特点,提出了其等效的串联结构运动学模型,并求出了运动学的正反解。将FROG-LEG型真空机械手动力学问题分为水平和垂直两个方向进行讨论,用牛顿-欧拉法求出了两个方向的动力学方程。最后利用MATLAB机器人工具箱对机械手的运动学和动力学特性进行了仿真实验。
- 黄玉钏曲道奎徐方
- 关键词：运动学动力学仿真
