国家高技术研究发展计划(2002AA404450)
- 作品数：16 被引量：174H指数：8
- 相关作者：欧阳航空程维明孙麟治陆林海李鸣鸣更多>>
- 相关机构：上海大学上海工程技术大学哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划上海市教育委员会重点学科基金国防基础科研计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信金属学及工艺更多>>
- 纳米工作台定位控制研究被引量：1
- 2009年
- 介绍了基于宏微两级驱动方式的纳米工作台定位系统,重点在对宏微动态切换时宏动台固定与否对其自身振动情况的影响进行测试分析。研究表明,宏动台被锁定后可以明显减小其台面振动幅度,对后面微动台以及整个系统定位精度的提高起着关键性作用。
- 韩颖陆林海
- 精密定位技术研究被引量：62
- 2005年
- 精密定位技术广泛应用于精密仪器、机械和机床I、C工艺制造、计算机外围设备。其特点是精度和分辨率高,台面尺寸从小到大,品种繁多,大多有自动化操作要求,需要集成许多高性能高品质机械零部件,高分辨力检测元器件,因此制作难度大,投资大。过去精密定位的精度和分辨率已从毫米量级过渡到了微米、从亚微米进入到了纳米量级。本文概述了获取高精度定位精度的支撑关键技术。介绍了基于宏微二级叠加方式的控制系统,研制的宏动工作台用精密滚珠丝杠螺母传动,由交流伺服驱动器驱动,配备反射式光栅检测元件,构成伺服反馈系统,并对其实际误差曲线进行线性补偿之后,可将定位误差从76μm降低到3μm;再在宏动工作台面上安装高精度的微动载物台,由计算机进行宏微切换,从宏运动过渡到微运动方式,可实现大行程纳米量级精密定位。
- 孙麟治李鸣鸣程维明
- 关键词：分辨率纳米
- 基于PMAC的精密定位系统研究被引量：19
- 2005年
- 该文主要研究了基于一种新型的PMAC运动控制卡的精密定位控制系统,介绍了该控制卡的一些功能、系统的组成与原理以及PID+速度/加速度前馈的控制算法。采用最小二乘法对系统的定位误差进行线性拟合,并对系统的定位误差进行分段线性补偿,从而使工作台定位精度达到104μm。
- 欧阳航空陆林海华晓青
- 关键词：PMAC运动控制卡PID工作台前馈
- 精密定位平台的系统误差分析及螺距误差补偿方法的实现被引量：20
- 2005年
- 简要地介绍了研制的大行程纳米定位系统宏动工作台的组成,详细地分析了其系统 误差特性及几种误差补偿方法。实验表明,通过双向螺距误差补偿法可使其定位精度得到较大的 改善。
- 欧阳航空陆林海侯彦丽
- 关键词：误差补偿PMAC
- 实验数据RBF神经网络模型中噪声的处理方法被引量：11
- 2005年
- 实验数据的非线性建模,是对各种仪器、设备的性能进行校正和补偿的基础。讨论了神经网络非线性建模时数据中的噪声成分造成的过拟合现象以及对模型精度的影响,针对RBF网络给出了2种提高建模精度的方法:建模数据预处理法和网络参数优化法。在数据预处理方法中,根据建模样本的特点,分别采用滑动平均法和灰色模型法对原始建模数据进行修正,并分析了它们的适用场合;对于后一种方法,选择径向基函数分布宽度和学习目标进行优化。以精密平台为例进行了实验,通过对其定位误差的测量、建模和预测,证明了上述各种方法的有效性,特别是后一种方法,可以得到非常高的建模精度。
- 李鸣鸣龚振邦欧阳航空孙麟治
- 关键词：数据建模RBF网络噪声过拟合
- 提高精密工作台定位精度的温度补偿研究被引量：2
- 2010年
- 精密定位工作台温度的变化直接影响工作台的定位精度。通过建立精密定位工作台热膨胀模型,分析工作台在不同固定方式下的温度变化对定位精度的影响,给出了基于温度精密测量的工作台定位精度实时补偿方法,并通过实验对补偿方法的效果进行了验证,证明方法有十分明显的补偿效果。
- 姜克壮程维明欧阳航空
- 关键词：精密定位工作台温度误差补偿
- 精密定位中的激光干涉测量误差分析被引量：14
- 2006年
- 高精度定位平台通常以激光干涉仪为测量基准。根据测量原理,激光干涉仪的测量误差应为定位平台误差的1/3-1/2,这样才能保证测量结果的可信性。为此,对影响激光干涉仪测量精度的诸多因素作了分析,并在分析的基础上进行误差计算。计算结果表明,激光干涉测量系统的综合误差为12.3 nm,满足定位平台的精度要求,二者在精度上能很好匹配。
- 程维明葛轶君
- 关键词：误差分析激光干涉仪
- MEMS器件微装配系统的设计与研制
- 在分析微装配特点的基础上,讨论了微装配系统的功能需求和组成。提出了一种新型MEMS器件微装配系统设计方案,描述了系统样机关键技术模块的研制方案。以微型光谱分析仪极板对准为示范目标开展了实验研究,结果表明该系统适用于典型M...
- 陈立国孙立宁荣伟彬谢晖
- 关键词：微装配MEMS显微视觉
- 文献传递
- 基于VB的宏微两级定位平台精度评定软件系统开发
- 2008年
- 介绍了一种用于宏微两级精密定位平台精度评定的软件系统,包括系统的评定标准、评定方法以及软件系统的组成。该系统基于VB开发,实现了对定位平台进行精度评定所需数据的采集、处理、保存以及评定结果的显示。给出了软件系统的界面及评定结果的部分示图。
- 张鹏宇华晓青欧阳航空
- 关键词：VB
- MEMS器件微装配系统的设计与研制被引量：3
- 2005年
- 在分析微装配特点的基础上,讨论了微装配系统的功能需求和组成。提出了一种新型MEMS器件微装配系统设计方案,描述了系统样机关键技术模块的研制方案。以微型光谱分析仪极板对准为示范目标开展了实验研究,结果表明该系统适用于典型MEMS芯片的微对准和封装研究。
- 陈立国孙立宁荣伟彬谢晖
- 关键词：微装配MEMS显微视觉
