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国家自然科学基金(51105057)

作品数：1 被引量：2H指数：1
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相关机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所大连理工大学大连海事大学更多>>
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大连理工大学机械工程学院精密与特种加工教育部重点实验室
研究主题：化学机械抛光 表面粗糙度 硅片 数值模拟 微电铸
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大连海事大学
研究主题：船舶 法律问题研究 港口 遗传算法 数值模拟
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：晶圆 化学机械抛光 CMP 全自动 半导体设备
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
大连理工大学机械工程学院
研究主题：故障诊断 有限元分析 有限元 CAD 优化设计
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
大连理工大学
研究主题：数值模拟 性能研究 催化剂 优化设计 有限元
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