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国家重点基础研究发展计划(2005CB724305)
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赵建龙
金庆辉
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上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题:MEMS 微机电系统 MEMS技术 碳纳米管 压电
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