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国家自然科学基金(90307003)

作品数：53 被引量：161H指数：7
相关作者：张玉林卢文娟宋会英魏强孔祥东更多>>
相关机构：山东大学东营职业学院泰山学院更多>>
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领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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  • 6个电子产品世界
  • 5个光子学报

地区

  • 31个山东省
  • 7个北京市
  • 1个吉林省
  • 1个河北省
共 41 条 记 录，以下是 1-10
张玉林
供职机构：中国石油大学（华东）
研究主题：电子束 电子束光刻 微机电系统 抗蚀剂 聚合酶链式反应
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卢文娟
供职机构：山东大学
研究主题：电子束 电子束光刻 抗蚀剂 扫描隧道显微镜 电子束曝光
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宋会英
供职机构：中国石油大学（华东）
研究主题：电子束光刻 邻近效应校正 MONTE 扫描隧道显微镜 二次电子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孔祥东
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束 波带片 多层膜 聚焦离子束 退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郝慧娟
供职机构：山东省计算机网络重点实验室
研究主题：电子束光刻 扫描隧道显微镜 邻近效应校正 电子束 精密工作台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏强
供职机构：泰山学院
研究主题：精密工作台 扫描隧道显微镜 压电陶瓷 神经网络 电子束光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹明
供职机构：山东大学
研究主题：电子束 像差 电子束曝光机 抗蚀剂 偏转系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李现明
供职机构：山东大学
研究主题：聚合酶链式反应 自动检测系统 微机电系统 传感器 温度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
伍海龙
供职机构：山东大学控制科学与工程学院
研究主题：扫描电化学显微镜 恒电位仪 混合编程 小波阈值 程控电压源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于欣蕾
供职机构：山东大学电气工程学院
研究主题：扫描隧道显微镜 PID控制 微位移工作台 精密工作台 STM
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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