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国家自然科学基金(60176033)

作品数：9 被引量：38H指数：4
相关作者：刘玉岭王新檀柏梅李薇薇邢哲更多>>
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领域

  • 10个电子电信
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  • 8个一般工业技术
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主题

  • 10个电路
  • 10个抛光
  • 10个抛光液
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  • 9个化学机械抛光
  • 8个阻挡层
  • 7个多层布线
  • 7个溶胶
  • 6个多胺
  • 5个氮化
  • 4个大学生
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  • 4个氮化钛
  • 4个低K介质
  • 4个电池
  • 4个电化学
  • 4个电路工艺
  • 3个低K材料
  • 3个电化学氧化

机构

  • 10个河北工业大学
  • 1个河北师范大学
  • 1个河北工学院
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  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国科学院长...
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民政治...
  • 1个中国电子科技...
  • 1个华润集团有限...

资助

  • 10个国家自然科学...
  • 9个河北省自然科...
  • 8个天津市自然科...
  • 5个国家中长期科...
  • 5个河北省教育厅...
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  • 1个国家科技型中...
  • 1个河北省科技攻...
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传媒

  • 9个半导体技术
  • 8个Journa...
  • 8个河北工业大学...
  • 7个电子器件
  • 6个微纳电子技术
  • 5个天津科技
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  • 3个功能材料
  • 3个稀有金属
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  • 3个电子工业专用...
  • 3个洗净技术
  • 3个纳米技术与精...
  • 3个纳米科技

地区

  • 9个天津市
  • 1个河北省
共 10 条 记 录，以下是 1-10
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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王新
供职机构：河北工业大学
研究主题：锰锌铁氧体 纳米粉体 抛光液 MNZN铁氧体 SUB
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李薇薇
供职机构：河北工业大学信息工程学院
研究主题：CMP ULSI 超大规模集成电路 化学机械抛光 化学机械全局平面化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢哲
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP ULSI 抛光液 钽
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周建伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
康志龙
供职机构：河北工业大学
研究主题：半导体激光器 垂直腔面发射激光器 金属有机化合物气相淀积 高功率 色度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王娟
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 硅溶胶 抛光液 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于广
供职机构：河北工业大学图书馆
研究主题：网络环境 文献信息 图书馆 继续教育 CAN总线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王弘英
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：ULSI 化学机械抛光 抛光液 多层布线 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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