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国家自然科学基金(60406009)

作品数：2 被引量：2H指数：1
相关作者：庞洁杨恒王跃林沈时强陆松涛更多>>
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共 6 条 记 录，以下是 1-6
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
庞洁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：吸合时间 悬臂梁 块结构 加速度传感器 锚点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
俞正寅
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微泵 传感器件 高深宽比 感应耦合等离子体 硅衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆松涛
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：金 悬架 光刻胶 光刻 互连
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈时强
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：封装 微机电系统 微电铸
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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