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国家科技重大专项(2009ZX02037-003)

作品数：3 被引量：8H指数：2
相关作者：饶志鹏夏洋李超波董亚斌张阳更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所哈尔滨理工大学更多>>
发文基金：国家科技重大专项中国博士后科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学更多>>

领域

  • 12个电子电信
  • 9个一般工业技术
  • 9个理学
  • 8个化学工程
  • 8个电气工程
  • 7个自动化与计算...
  • 6个金属学及工艺
  • 5个机械工程
  • 4个文化科学
  • 2个建筑科学
  • 2个交通运输工程
  • 2个航空宇航科学...
  • 2个环境科学与工...
  • 2个医药卫生
  • 2个农业科学
  • 1个经济管理
  • 1个天文地球
  • 1个矿业工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个水利工程

主题

  • 12个原子层沉积
  • 10个氧化锌
  • 9个等离子体
  • 8个电池
  • 8个电路
  • 8个原位掺杂
  • 8个体源
  • 7个氮化
  • 7个氮化铝
  • 7个电场
  • 7个原子
  • 6个氧化锌薄膜
  • 5个单晶
  • 5个氮化镓
  • 5个等离子体增强
  • 5个电导
  • 5个电子器件
  • 5个钝化
  • 5个原位
  • 4个电机

机构

  • 11个中国科学院微...
  • 5个浙江大学
  • 4个中国科学院
  • 4个嘉兴科民电子...
  • 2个哈尔滨理工大...
  • 2个中国科学技术...
  • 2个中国科学院嘉...
  • 1个哈尔滨工程大...
  • 1个东北电力大学
  • 1个北京大学
  • 1个北京科技大学
  • 1个北京有色金属...
  • 1个辽宁工业大学
  • 1个清华大学
  • 1个云南师范大学
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国科学院微...
  • 1个杭州中科微电...
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国科学院大...

资助

  • 12个国家科技重大...
  • 10个国家高技术研...
  • 10个国家自然科学...
  • 6个国家重点基础...
  • 6个中国博士后科...
  • 6个中国科学院科...
  • 5个中国科学院知...
  • 2个北京市自然科...
  • 2个教育部科学技...
  • 2个黑龙江省教育...
  • 2个哈尔滨市科技...
  • 2个黑龙江省研究...
  • 2个中国科学院微...
  • 2个中国科学院知...
  • 2个辽宁省科技厅...
  • 1个北京市科技新...
  • 1个国防基础科研...
  • 1个国家科技攻关...
  • 1个黑龙江省科技...
  • 1个浙江省科技攻...

传媒

  • 9个物理学报
  • 8个半导体技术
  • 8个无机材料学报
  • 7个微纳电子技术
  • 7个真空科学与技...
  • 4个Journa...
  • 4个功能材料
  • 4个仪表技术与传...
  • 3个光学精密工程
  • 3个太阳能学报
  • 3个电子测量技术
  • 3个激光与光电子...
  • 3个发光学报
  • 3个光电工程
  • 3个材料导报（纳...
  • 3个纳米技术与精...
  • 3个传感器与微系...
  • 2个北京科技大学...
  • 2个红外与激光工...
  • 2个电子工艺技术

地区

  • 10个北京市
  • 2个黑龙江省
共 12 条 记 录，以下是 1-10
饶志鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 原子层沉积 含氮 化学吸附 含碳
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董亚斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氧化锌薄膜 共掺 受主 原子层沉积 锌源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
万军
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 含氮 原子层沉积 化学吸附 含碳
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
施云波
供职机构：哈尔滨理工大学
研究主题：传感器 气体传感器 SUB 气体传感器阵列 有机半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张祥
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化铝 A1 硅太阳电池 钝化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢维尔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张阳
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氧化锌薄膜 共掺 氧化锌 锌源 受主
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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