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国家高技术研究发展计划(2007AA04Z305)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：陆荣杨恒陆松涛更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 3个电子电信
  • 3个自动化与计算...
  • 2个金属学及工艺
  • 1个化学工程
  • 1个机械工程
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  • 1个航空宇航科学...
  • 1个一般工业技术
  • 1个文化科学
  • 1个理学

主题

  • 3个电池
  • 3个电化学腐蚀
  • 3个亚微米
  • 3个原电池
  • 3个微米
  • 3个刻蚀
  • 3个化学腐蚀
  • 3个金
  • 2个电极
  • 2个电学
  • 2个电铸
  • 1个大型港口
  • 1个大型港口机械
  • 1个大型起重机
  • 1个大型起重机械
  • 1个单晶
  • 1个单晶硅
  • 1个氮化
  • 1个氮化硅
  • 1个倒装

机构

  • 3个中国科学院
  • 1个复旦大学
  • 1个中国科学院研...

资助

  • 3个国家高技术研...
  • 2个国家自然科学...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个上海市科学技...
  • 1个国家科技重大...
  • 1个“九五”国家...
  • 1个国家重大科学...
  • 1个国家重点实验...
  • 1个上海市科学技...
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传媒

  • 3个传感器与微系...
  • 2个微细加工技术
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  • 1个甘肃教育
  • 1个传感器技术
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  • 1个系统仿真学报
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  • 1个传感技术学报
  • 1个功能材料与器...
  • 1个电子与封装
  • 1个电子设计工程
  • 1个2001全国...
  • 1个第八届中国微...
  • 1个第十六届全国...

地区

  • 3个上海市
共 3 条 记 录，以下是 1-3
陆荣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：金 亚微米 电化学腐蚀 原电池 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆松涛
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：金 悬架 光刻胶 光刻 互连
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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