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国家自然科学基金(60576032)

作品数：4 被引量：9H指数：1
相关作者：徐秋霞周华杰许高博更多>>
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徐秋霞
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周华杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属栅 鳍片 自顶向下 沟道效应 硅化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许高博
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属栅 半导体器件 沟道 介质层 堆叠
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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