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深圳市基础研究计划项目(2009-K1-54)
作品数:
1
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H指数:1
相关作者:
张以忱
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深圳八六三计划材料表面技术研发中心
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发文基金:
深圳市基础研究计划项目
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张以忱
供职机构:东北大学
研究主题:真空 真空系统 真空技术 磁控溅射 非平衡磁控溅射
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