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国家自然科学基金(10204021)
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黄歆
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李俊红
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:压电 硅 芯片 振动膜 矢量水听器
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黄歆
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:芯片 振动膜 空气隙 电容传声器 硅微电容传声器
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汪承灏
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:振动膜 芯片 硅 硅微电容传声器 压电
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徐联
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:振动膜 硅微电容传声器 芯片 电容传声器 硅
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供职机构
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杨楚威
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:硅 压电薄膜 压电 微机电系统 传声器
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