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青年科技基金(2004008)

作品数：2 被引量：2H指数：1
相关作者：李幼真刘正陈海波周继承黄迪辉更多>>
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发文基金：国家自然科学基金青年科技基金更多>>
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领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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  • 1个半导体技术
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地区

  • 5个湖南省
共 5 条 记 录，以下是 1-5
刘正
供职机构：中南大学
研究主题：扩散阻挡层 阻挡层 N 铜互连 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈海波
供职机构：中南大学物理与电子学院
研究主题：TA N 纳米 集成电路 扩散阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周继承
供职机构：中南大学
研究主题：磁控溅射 计算机模拟 热脱脂 粉末冶金 硬质合金
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李幼真
供职机构：中南大学物理与电子学院
研究主题：扩散阻挡层 TA 阻挡层 N 沉积速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄迪辉
供职机构：中南大学物理与电子学院
研究主题：磁控溅射 常压 CIS SICN 靶材
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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