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中央高校基本科研业务费专项资金(2010ZD004)
作品数:
1
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相关作者:
吴小飞
张传维
刘世元
刘巍
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相关机构:
华中科技大学
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发文基金:
中央高校基本科研业务费专项资金
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吴小飞
供职机构:华中科技大学光学与电子信息学院武汉光电国家实验室
研究主题:SIGMOID函数 光学光刻 解析模型 离轴照明 离轴
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刘巍
供职机构:华中科技大学光学与电子信息学院武汉光电国家实验室
研究主题:SIGMOID函数 光学光刻 解析模型 离轴照明 离轴
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刘世元
供职机构:华中科技大学
研究主题:椭偏仪 光学常数 椭偏测量 光学测量 测量方法
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张传维
供职机构:华中科技大学
研究主题:椭偏仪 测量方法 波片 复合波片 光强
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