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河北省自然科学基金(599041)

作品数：2 被引量：6H指数：2
相关作者：周建伟李薇薇刘玉岭檀柏梅尹睿更多>>
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领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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  • 2个稀有金属

地区

  • 5个天津市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
周建伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李薇薇
供职机构：河北工业大学信息工程学院
研究主题：CMP ULSI 超大规模集成电路 化学机械抛光 化学机械全局平面化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹睿
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP技术 插塞 钨 碱性 化学机械全局平面化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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