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北京市自然科学基金(3022005)
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伊福廷
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张菊芳
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张院春
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:电火花加工 微细加工 电铸 微细电火花加工 微细
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邹丽芸
供职机构:北京机电院高技术股份有限公司
研究主题:微细电火花加工 微细电火花 微细加工 电火花加工 微细
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韩勇
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 掩模 微细加工 LIGA BSRF
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彭良强
供职机构:中国科学院
研究主题:LIGA技术 微细加工 电火花加工 LIGA 微细电火花加工
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张菊芳
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 微细加工 LIGA 掩模 X射线光刻
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伊福廷
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 光刻 LIGA 微细加工 光刻胶
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