您的位置： 专家智库 > >

国家科技重大专项(2011ZX02708-003)

作品数：3 被引量：3H指数：1
相关作者：刘洪刚王盛凯许维常虎东赵威更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所中国科学院更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

领域

  • 10个电子电信
  • 9个金属学及工艺
  • 7个一般工业技术
  • 6个理学
  • 5个自动化与计算...
  • 5个轻工技术与工...
  • 5个文化科学
  • 4个航空宇航科学...
  • 3个化学工程
  • 3个电气工程
  • 2个医药卫生
  • 1个经济管理
  • 1个生物学
  • 1个机械工程
  • 1个交通运输工程
  • 1个环境科学与工...
  • 1个核科学技术

主题

  • 9个纳米
  • 9个晶圆
  • 9个键合
  • 8个电阻
  • 8个圆片
  • 8个介质层
  • 8个晶圆片
  • 7个单晶
  • 6个单晶硅
  • 6个氮化
  • 6个氮化物
  • 6个低温退火
  • 6个点压
  • 6个电极
  • 6个电压
  • 5个氮化镓
  • 5个氮气
  • 5个等离子体处理
  • 5个功率器件
  • 3个单光子

机构

  • 10个中国科学院微...
  • 3个桂林电子科技...
  • 1个清华大学
  • 1个中国科学院
  • 1个中北大学
  • 1个中国科学技术...
  • 1个江苏物联网研...

资助

  • 10个国家科技重大...
  • 7个国家重点基础...
  • 5个国家自然科学...
  • 3个中国博士后科...
  • 3个广西壮族自治...
  • 2个国家高技术研...
  • 2个电子薄膜与集...
  • 2个中国科学院知...
  • 2个中国科学院科...
  • 1个北京市自然科...
  • 1个国家科技攻关...
  • 1个江苏省自然科...
  • 1个山西省自然科...
  • 1个“九五”国家...
  • 1个广东省重大科...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个江苏省博士后...
  • 1个中国科学院西...
  • 1个中国科学院院...
  • 1个中国科学院战...

传媒

  • 7个物理学报
  • 6个焊接学报
  • 6个半导体光电
  • 4个真空科学与技...
  • 4个第5届海内外...
  • 3个哈尔滨工业大...
  • 3个湖南大学学报...
  • 3个稀有金属与硬...
  • 2个Journa...
  • 1个红外与激光工...
  • 1个半导体情报
  • 1个半导体技术
  • 1个太阳能学报
  • 1个太原理工大学...
  • 1个微计算机应用
  • 1个汽车工程
  • 1个实验力学
  • 1个电子学报
  • 1个核技术
  • 1个光学学报

地区

  • 9个北京市
  • 1个广西
共 10 条 记 录，以下是 1-10
刘洪刚
供职机构：桂林电子科技大学
研究主题：沟道 迁移率 衬底 半导体器件 硅基
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王盛凯
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：微波等离子体 衬底 含氧气体 沟道 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许维
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：键合 热压键合 点压 合法 晶圆片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
常虎东
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：衬底 沟道 界面态密度 迁移率 半导体器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵威
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：锗 氧化锗 纳米线结构 氧化物 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢力
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：势垒 III-V族半导体 氧化锗 锗 沟道
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王英辉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：键合 衬底 压阻 压力传感器 半导体器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙兵
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：迁移率 沟道 锗 硅基 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐杨
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：薄膜晶体管 键合 点压 热压键合 沟道
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0