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国家高技术研究发展计划(2002AA3Z1110)
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周旗钢
王敬
冯泉林
库黎明
李耀东
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周旗钢
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
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王敬
供职机构:清华大学
研究主题:沟道 半导体结构 场效应晶体管 晶体管 栅结构
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冯泉林
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 300MM硅片 硅片表面 外延片 氧沉淀
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所获资助
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库黎明
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 抛光 300MM硅片 平整度 硅片表面
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刘佐星
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:二氧化硅膜 硅片 精确控制 吸盘 蒸汽
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刘斌
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:氧沉淀 微缺陷 多晶硅 CZ硅单晶 氩
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常青
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 300MM硅片 硅片 晶体生长 单晶
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何自强
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:吹扫 硅化物 尾气处理系统 盲板 残余气体
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李耀东
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 化学机械抛光 超大规模集成电路 300MM硅片 表面形貌
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