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国家高技术研究发展计划(2006AA04Z365)

作品数：1 被引量：5H指数：1
相关作者：甘小华刘民于海涛李昕欣许鹏程更多>>
相关机构：中国科学院更多>>
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甘小华
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：闭环 接口电路 谐振传感器 微悬臂 频率跟踪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘民
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加速度计 测试装置 接口电路 锁相环 悬臂梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许鹏程
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微悬臂梁 悬臂梁 气体传感器 芯片 纳米线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于海涛
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微悬臂梁 悬臂梁 谐振式 锁相环 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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