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辽宁省自然科学基金(20102162)

作品数：5 被引量：9H指数：2
相关作者：李新刘沁孙承松刘野薛阳更多>>
相关机构：沈阳工业大学沈阳仪表科学研究院有限公司中国科学院更多>>
发文基金：辽宁省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

领域

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主题

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机构

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资助

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地区

  • 5个辽宁省
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共 7 条 记 录，以下是 1-7
李新
供职机构：沈阳工业大学信息科学与工程学院
研究主题：压力传感器 压力敏感芯片 微全分析系统 集成化 SOI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘沁
供职机构：沈阳仪表科学研究院有限公司
研究主题：传感器 差压传感器 硅电容 力敏传感器 极板
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
薛明鑫
供职机构：中国科学院声学研究所
研究主题：叉指电极 ZNO压电薄膜 压电薄膜 板结构 硅基
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘梦伟
供职机构：中国科学院声学研究所
研究主题：声表面波 硅 PZT薄膜 压电传声器 声表面波器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
薛阳
供职机构：沈阳工业大学
研究主题：谐振式压力传感器 ANSYS SIO2 SIO SI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙承松
供职机构：沈阳工业大学信息科学与工程学院
研究主题：溅射 硅 INSB薄膜 传感器 气敏元件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘野
供职机构：沈阳工业大学
研究主题：硅 SOI晶圆 膜结构 微压传感器 化学镀镍
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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