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国家自然科学基金(69876009)

作品数：3 被引量：18H指数：2
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地区

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共 9 条 记 录，以下是 1-9
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲍敏杭
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 压力传感器 传感器 微机械 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙远程
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度传感器 固有频率 压敏电阻 微机械加速度传感器 侵彻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武国英
供职机构：北京大学
研究主题：硅化物 硅 SOI 微机电系统 陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张大成
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈绍群
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院
研究主题：硅 压力传感器 各向异性腐蚀 微机械结构 微压传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄宜平
供职机构：复旦大学
研究主题：MEMS 传感器 气体传感器 硅 SOI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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