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福建省自然科学基金(A0310012)

作品数：8 被引量：61H指数：4
相关作者：罗仲梓于映吴清鑫陈光红翁心桥更多>>
相关机构：厦门大学福州大学苏州市职业大学更多>>
发文基金：福建省自然科学基金国家自然科学基金国家杰出青年科学基金更多>>
相关领域：电子电信电气工程理学机械工程更多>>

领域

  • 6个理学
  • 5个电子电信
  • 5个电气工程
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  • 3个化学工程
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  • 3个一般工业技术
  • 3个文化科学
  • 2个自然科学总论
  • 1个金属学及工艺
  • 1个动力工程及工...
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个航空宇航科学...

主题

  • 6个PECVD
  • 5个氮化
  • 5个氮化硅
  • 5个氮化硅薄膜
  • 5个亚胺
  • 5个射频
  • 5个射频MEMS...
  • 5个射频开关
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  • 5个微机电系统
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  • 5个刻蚀
  • 4个电路
  • 3个低应力
  • 2个等离子体
  • 2个电路分析
  • 2个电路分析基础
  • 2个电位
  • 2个电位法
  • 2个叠加定理

机构

  • 5个福州大学
  • 3个厦门大学
  • 2个苏州市职业大...
  • 1个东南大学
  • 1个南京邮电大学
  • 1个浙江大学

资助

  • 6个福建省自然科...
  • 6个国家自然科学...
  • 4个国家留学基金
  • 4个国家杰出青年...
  • 4个福建省科技重...
  • 3个福建省重点科...
  • 2个中国博士后科...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个江苏省自然科...
  • 1个福建省教育厅...
  • 1个福建省科技厅...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个毫米波国家重...
  • 1个江苏省普通高...

传媒

  • 5个集美大学学报...
  • 4个中国仪器仪表
  • 4个功能材料
  • 4个苏州市职业大...
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  • 3个功能材料与器...
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  • 2个科技资讯
  • 2个职业技术
  • 1个电子测试
  • 1个电子科技
  • 1个Journa...
  • 1个电子工艺技术
  • 1个电子测量技术
  • 1个电视技术
  • 1个仪器仪表学报
  • 1个化工学报

地区

  • 3个江苏省
  • 3个福建省
共 6 条 记 录，以下是 1-6
罗仲梓
供职机构：厦门大学
研究主题：射频MEMS开关 PECVD 键合 芯片 微通道
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于映
供职机构：南京邮电大学
研究主题：氮化硅薄膜 共面波导 射频MEMS开关 天线 共形
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴清鑫
供职机构：苏州市职业大学电子信息工程系
研究主题：射频MEMS开关 氮化硅薄膜 PECVD 氮化硅 力学性能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈光红
供职机构：苏州市职业大学电子信息工程学院
研究主题：教学探讨 射频MEMS开关 氮化硅 《信号与系统》 PECVD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张春权
供职机构：厦门大学
研究主题：键合 聚二甲基硅氧烷 微电子机械系统 PECVD PDMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
翁心桥
供职机构：福州大学电子科学与应用物理系
研究主题：MEMS开关 PECVD 共平面波导 刻蚀工艺 射频开关
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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